- нояб 29, 2019
Попов В.В.
Email: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.
Попов Виктор Владимирович - специалист по данным, ООО Opex Analytics, г. Чикаго, Соединенные Штаты Америки, магистр компьютерных наук, Корнелльский университет, г. Нью Йорк, Соединенные Штаты Америки, бакалавр мехатроники и робототехники, Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, г. Москва
Аннотация: в данной работе рассматриваются моющие рабочие позиции автоматических линий фотолитографии. Основное внимание фокусируется на вопросах модернизации оборудования на базе линий фотолитографии на платах тонкоплёночных микросборок и полупроводниковых пластин с интеграцией генераторов пены, представляющих собой мехатроннное (и, потенциально, робототехническое) устройство. Автор подробно описывает принцип действия рабочей позиции с интегрированным генератором пены как сложной мехатронной системы. Приводится детальная классификация предложенного технического решения в части способа. Автор в деталях описывает отдельные структурные компноненты центрифуги рабочей позиции модуля линии фотолитографии и их взаимосвязи. Также в статье описывается оценка технологического и коммерческого потенциала изобретения, основанная на сравнении с существующими устройствами, исходя из которой делается вывод о превосходстве предлагаемого решения.
Ключевые слова: аэродинамический генератор пены, робототехника, мехатроника, автоматическая производственная линия.
CLEANSING POSITIONS OF AUTOMATIC PHOTOLITHOGRAPHY LINES BASED ON THIN-FILMED MICRO-ASSEMBLY PLATES AND SEMICONDUCTOR PLATES WITH INTEGRATED FOAM GENERATORS
Popov V.V.
Popov Victor Vladimirovich - data Scientist, LLC OPEX ANALYTICS, CHICAGO, UNITED STATES OF AMERICA, Master of Engineering in Computer Science, CORNELL UNIVERSITY, NEW YORK, UNITED STATES OF AMERICA, Bachelor’s Degree in Mechatronics and Robotics, BAUMAN MOSCOW STATE TECHNICAL UNIVERSITY, MOSCOW
Abstract: in this article cleansing positions of automatic photolithography lines are considered. Main attention is focused on a problem of modernization of equipment based on photolithography lines with thin-filmed micro-assembly plates and semiconductor plates with integration of foam generators which are the mechatronic devices (and can be extended to be robotic). Author describes in details the operating principle of working position with integrated foam generator as a complex mechatronic system. The in-depth classification of the suggested engineering solution is provided in terms of method. Author describes in details different structural components of the working position centrifuge of photolihography line module and their interconnections. In this article author also provides the examination of the technological and commercial potential of the invention based on comparison with the existing devices which results in conclusion of the supremacy of the suggested solution.
Keywords: aerodynamic foam generator, robotics, mechatronics, automatic industrial line.
Список литературы / References
- Bristol Robert L. et al. “Structures and methods for improved lithographic processing”, U.S. Patent 20180294167, issued October 11, 2018.
- Liao Chia-Feng et al. “Photolithography tool and method thereof”, U.S. Patent 20170123328, issued May 4, 2017.
- Popov V. “Application of vortical foam generators in automatic photolithography lines with control systems including elements of artificial intelligence and artificial neural networks”, Vestnik Nauki I Obrazovaniya №21 (75-1). 2019. doi: 10.24411/2312-8089-2019-12101.
- Sakakura Masayuki et al. “Semiconductor device and manufacturing method thereof”, U.S. Patent 20170148827, issued May 25, 2017.
- Zhou Wen-Zhan et al. “System and method for supplying and dispensing bubble-free photolithography chemical solutions”, U.S. Patent 20180067395, issued March 8, 2018.
- Lee Takhee et al. “Method for manufacturing high-density organic memory device”, U.S. Patent 20170331040, issued November 16, 2017.
- Yuan Guangcai et al. “Thin film transistor, array substrate and manufacturing method thereof, and display device”, U.S. Patent 20180138210, issued May 17, 2018
- Popov Victor. Transformation of Aerodynamic Capture Principle to Dynamic Activation of Fuel Mixture principle, Program and Associated Method of Preliminary Tests, "Intellectual Archive" journal, vol.8, #3, 2019. doi: 10.32370/IAJ.2157.
- Takahashi Satoshi et al. “Method of producing solid-state imaging device, solid-state imaging device, method of producing color filter, and color filter”, U.S. Patent 20180261639, issued September 13, 2018.
- Ho;Johnny Chung Yin et al. “Optical mask for use in a photolithography process, a method for fabricating the optical mask and a method for fabricating an array of patterns on a substrate using the optical mask”, U.S. Patent 20190064656, issued February 28, 2019.
- Hasebe Kazuhide et al. “MASK PATTERN FORMING METHOD, FINE PATTERN FORMING METHOD, AND FILM DEPOSITION APPARATUS”, U.S. Patent 20180019113, issued January 18, 2018.
- Hasebe Kazuhide et al. “Mask pattern forming method, fine pattern forming method, and film deposition apparatus”, U.S. Patent 20170162381, issued June 8, 2017.
Ссылка для цитирования данной статьи
Тип лицензии на данную статью – CC BY 4.0. Это значит, что Вы можете свободно цитировать данную статью на любом носителе и в любом формате при указании авторства. | ||
Попов В.В. МОЮЩИЕ РАБОЧИЕ ПОЗИЦИИ АВТОМАТИЧЕСКИХ ЛИНИЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ НА ПЛАТАХ ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ МИКРОСБОРОК И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН С АДАПТИРОВАННЫМИ ГЕНЕРАТОРАМИ ПЕНЫ// Наука, техника и образование №10(63), 2019. - С.{см. журнал}. |